無菌室|無塵室工程 - 鼎佑讚製冷科技有限公司 DING YU TZAN

起源:

無塵室最早在美國聯邦標準 209 上出現，之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。隨著工業的日益發展，在發歐洲與日本各國的版本也逐漸出現。到了 90年代後期，產業界體認到若是無共同標準，就不能實現經濟的全球化，於是 ISO-14644 的產生。

定義:

無塵室(Clean Room 亦即潔淨室)是對一個封閉性空間內空氣中的微粒、溫溼度、氣流型式、震動與噪音等環境因素做控制，所建造出來的特殊封閉性環境空間。無塵室亦是個採層層過濾以去除空氣中微粒存在，並控制室內溫度與溼度於恒定狀態的密閉空間。是目前半導體業、醫學、生物化學、製藥、食品業等不可或缺的重要設施；近年國內隨著科技及生活水準的提高，無塵環境除了為產業界之必要條件，對醫療院所內手術室、加護病房、燙傷病房、嬰兒室、實驗室等，乃至製藥、食品加工等的無菌要求，亦成為最重要的一環。

無塵室工程三大系統:

內裝系統：

主要工程項目為高架地板、T-bar 天花板系統、環氧樹脂塗裝、牆板系統。
註：牆板系統無塵室之隔間牆分為
(1)「氣密牆」主要用於隔絕無塵室內與室外。
(2)「防火牆」用於防火區化的分區，避免因其他區域的事故而影響別區。
(3)「室內隔間牆」需為抗靜電塗裝牆以避免灰塵之吸附。
(4)「製程設備輕隔間牆」需為容易拆裝且有抗靜電功能。

空調機械：

主要工程項目為空你循環系統、排煙系統、外氣空調箱系統、潔淨乾燥空氣系統、加濕系統、
冰熱水系統、蒸氣管路、消防灑水系統、維修步道。

電氣儀控：

主要工程項目為無塵室空調設備之供電系統、空調設備之監控系統、無塵室之環境監測系統、
無塵室燈具系統、插座系統、接地系統、火警系統、緊急廣播系統。

標準:

各種產業潔淨等級要求對照表

業種別	適用場所	潔淨度(Class)
光學工業	光學鏡頭、刻度雕刻、醫學用相機、鏡片黏合製程、相機組立、微縮脹捲顯像、鏡片研磨製程、塗裝、底片製造乾燥。	100100~100,000
精密機械工業	電氣接點、袖珍軸承、精密誘導裝置、電子鐘錶元件、精密元件、儀器、軸承、鐘錶之組立、檢查。	100100~100,000
電子電機工業	半導體業之結晶精製、蝕刻製程、位置調整、表面處理、金屬蒸著、積體電路、映像管、錄放影機、電腦用磁帶、電腦製造、繼電器。	100100~100,000
印刷工業	精密製版、電子製版。	10~100100~100,000
菇菌栽培	香菇、洋菇、木耳菌之培養。	10,000
育　種	黴菌類污染之防止。	10,000
食肉加工	乳製品製造、魚糕、火腿、蘑菇製造、飲料裝瓶及封蓋。	10,000
醫　院	無菌手術房、無菌室、手術用器具保管、早產兒保育、一般手術室、加護病房、藥劑室、恢復室、病房。	100~100,000
臨床檢驗	細菌、黴菌、組織培養等。	10~100100~100,000
製　藥	抗生素、注射液及其封瓶、血清製造、藥品打錠、血液分裝、注射針筒、繃帶、化妝品製造。	1001,000~100,000

無塵室依等級的不同，對一定空間的微塵粒子最大容許量亦有一定規範，在國際標準中最常用的規範為 Fed-Std-209E

美國聯邦標準－ 209E 潔淨室規格表

等級限值
等級名稱		0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5μm
等級名稱		容積單位		容積單位		容積單位		容積單位		容積單位
SI	英制	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³
M1		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.876	10.0	0.283	-	-
M1.5	1	1,240	35.0	265	7.50	106	3.00	35.3	1.00	-	-
M2		3,500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	-	-
M2.5	10	12,400	350	2,650	75.0	1,060	30.0	353	10.0	-	-
M3		35,000	991	7,570	214	3,090	87.5	1,000	28.3	-	-
M3.5	100			26,500	750	10,600	300	3,530	100	-	-
M4				75,700	2,140	30,900	875	10,000	283	-	-
M4.5	1000							35,300	1,000	247	7.00
M5								100,000	2,830	618	17.5
M5.5	10000							353,000	10,000	2,470	70
M6								1000,000	28,300	6,180	175
M6.5	100000							3530,000	100,000	24,700	700
M7								10,000,000	283,000	61,800	1,750

美國聯邦標準－ 209D 潔淨室規格表

級數	粒子大小	粒子數目	壓力	溫度°C			溼度%			風速與換氣率	照度
	um	Particles/ft³	mmAg	範圍	推薦值	誤差值	最高	最低	誤差值	次/hr	lux
1	≧0.5	≦1	>1.3	19.4 ～25	22.2	±2.8 特殊需求 ±1.4	45	30	±10 特殊需求 ±5	層流方式 0.35～0.55m/s	1,080～1,620
	≧5.0	0
10	≧0.5	≦10
	≧5.0	0
100	≧0.5	≦100
	≧5.0	≦1
1,000	≧0.5	≦1,000								亂流方式 ≧20 次/hr
	≧5.0	≦10
10,000	≧0.5	≦10,000
	≧5.0	≦65
100,000	≧0.5	≦100,000
	≧5.0	≦700